Horiba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317F

應(yīng)用于晶圓背面壓力控制器

暢銷型號(hào)：GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD

UR-Z712M、UR-Z712M-B、UR-Z722M、UR-Z722M-B、UR-Z732M、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B。

Horiba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317F是GR-300系列中的暢銷產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)晶圓背面氣體的壓力控制器，該氣體用于冷卻晶圓表面溫度。

Horiba 壓力控制器GR-312F擁有高的穩(wěn)定性和精確性，常用氣體是氦氣和氬氣。

GR312F壓力控制器是0-5V或者RS485通訊，可以選擇GR317F，實(shí)現(xiàn)EtherCAT通訊。

特征

· 壓力控制更加穩(wěn)定和精確

· 質(zhì)量流量測(cè)量（可選）

· RS485通訊、EtherCAT通訊

· 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

Horiba壓力控制器

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品實(shí)物圖

應(yīng)用示例

在以下示例中，GR-312F、GR-314F、GR317F正在控制用于冷卻晶圓背面的氣體，晶圓通過靜電卡盤系統(tǒng)固定。

周邊產(chǎn)品：

Horiba品牌介紹：

HORIBA是全球著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。

本公司同時(shí)提供日本HORIBASTEC的質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器、數(shù)字壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)閥、壓力控制器、薄膜硅真空計(jì)、汽化器、殘余氣體分析儀。

壓力控制器暢銷型號(hào)

UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

Horiba 壓力控制器GR-312F GR-314F與壓力控制器 配套的有 質(zhì)量流量計(jì)，暢銷型號(hào)：

進(jìn)口高性能數(shù)字型號(hào): SEC-Z512KX、SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGXN、SEC-Z532MGX、SEC-Z514KX、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGXN、SEC-Z534MGX、SEC-Z517MGX

SEC-Z527MGXN.

進(jìn)口低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N124MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N176R.

模擬型質(zhì)量流量控制器：SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541

液體質(zhì)量流量控制器：LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO

液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M

本公司同時(shí)提供日本HORIBASTEC的質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器、數(shù)字壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)閥、壓力控制器、薄膜硅真空計(jì)、汽化器、殘余氣體分析儀。